ํ‹ฐ์Šคํ† ๋ฆฌ ๋ทฐ

 

EUV ๊ด€๋ จ์ฃผ/์ˆ˜ํ˜œ์ฃผ๋Š”? (ft. ์‚ผ์„ฑ์˜ ๋น…ํ”ฝ์ฒ˜ ๐Ÿญ)

์•ˆ๋…•ํ•˜์„ธ์š”, ํ”„๋ฆฌํ”„๋กฌ์ž…๋‹ˆ๋‹ค.

์–ผ๋งˆ ์ „, ์‚ผ์„ฑ์ „์ž ์ด์žฌ์šฉ ๋ถ€ํšŒ์žฅ์ด ๋„ค๋œ๋ž€๋“œ์— ์žˆ๋Š” ASML ๊ด€๊ณ„์ž๋“ค๊ณผ ๋ฏธํŒ…ํ–ˆ๋‹ค๋Š” ๋‰ด์Šค ๋ณด์‹  ๋ถ„๋“ค ์žˆ์œผ์‹คํ…๋ฐ์š”. ์ด๋ฒˆ ํฌ์ŠคํŒ…์—์„œ๋Š” ์ด์žฌ์šฉ ๋ถ€ํšŒ์žฅ์ด ์–ด๋– ํ•œ ์‚ฌ์œ ๋กœ ๋„ค๋œ๋ž€๋“œํ–‰ ๋น„ํ–‰๊ธฐ์— ํƒ‘์Šนํ–ˆ๊ณ , ์–ด๋–ค ํฐ ๊ทธ๋ฆผ์„ ๊ทธ๋ฆฌ๋ฉฐ ๊ธ€๋กœ๋ฒŒ ๊ธฐ์—…์˜ ์ž…์ง€๋ฅผ ๊ตณํžˆ๋ ค ํ•˜๋Š”์ง€. ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ  ์ด์™€ ๊ด€๋ จํ•œ ์ˆ˜ํ˜œ์ฃผ๋“ค์€ ๋ฌด์—‡์ด ์žˆ๋Š”์ง€ ์•Œ์•„๋ณด๊ฒ ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. 

 

๋„ค๋œ๋ž€๋“œ์—์„œ ๋Œ์•„์˜จ ์ด์žฌ์šฉ ๋ถ€ํšŒ์žฅ ์‚ฌ์ง„: ์—ฐํ•ฉ๋‰ด์Šค

 


EUV ๋…ธ๊ด‘์žฅ๋น„ • ASML ์ด๋ผ๋Š” ํšŒ์‚ฌ๋Š”?

๋จผ์ € EUV๊ฐ€ ๋ฌด์—‡์ธ์ง€ ์•Œ์•„๋ณด๊ฒ ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. EUV๋ž€ Extreme Ultraviolet์œผ๋กœ, ๊ทน์ž์™ธ์„ ์„ ๋œปํ•˜๋Š”๋ฐ์š”, EUV ๋…ธ๊ด‘ ๊ธฐ์ˆ ์€ ๊ทน์ž์™ธ์„  ๊ด‘์›์„ ์ด์šฉํ•˜์—ฌ ์›จ์ดํผ์— ๋ฐ˜๋„์ฒด ํšŒ๋กœ๋ฅผ ์ƒˆ๊ธฐ๋Š” ๊ธฐ์ˆ ์„ ๋งํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. 

 

EUV ๋…ธ๊ด‘์žฅ๋น„๋ฅผ ์ด์šฉํ•  ๊ฒฝ์šฐ, ๋ณด๋‹ค ์„ธ๋ฐ€ํ•œ ๊ณต์ •์ด ๊ฐ€๋Šฅํ•˜๊ฒŒ ๋˜๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์—(์„ธ๋ฐ€ํ•œ ํšŒ๋กœํŒจํ„ด์ผ์ˆ˜๋ก ๋†’์€ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์„ฑ๋Šฅ) 4์ฐจ ์‚ฐ์—…์œผ๋กœ ๋Œ€ํ‘œ๋˜๋Š” ์ธ๊ณต์ง€๋Šฅ ๋ฐ 5G ์ด๋™ํ†ต์ง„, ์ž์œจ์ฃผํ–‰ ๋“ฑ์— ํ•„์š”ํ•œ ์ตœ์ฒจ๋‹จ ๊ณ ์„ฑ๋Šฅ·์ €์ „๋ ฅ·์ดˆ์†Œํ˜• ๋ฐ˜๋„์ฒด๋ฅผ ๋งŒ๋“ค ์ˆ˜ ์žˆ๊ฒŒ ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ  ์ด์— ๋ฐœ๋งž์ถฐ ๋…ธ๊ด‘ ์žฅ๋น„๋ฅผ ์ƒ์‚ฐํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ์—…์ฒด๊ฐ€ ๋ฐ”๋กœ ๋„ค๋œ๋ž€๋“œ์˜ ASML์ž…๋‹ˆ๋‹ค. 

 

ASML

 

 

 

ANENDTECH ๊ธฐ์‚ฌ ๋ฐœ์ทŒ 

 

ํ…Œํฌ ์ „๋ฌธ์ง€์— ๋”ฐ๋ฅด๋ฉด ํ˜„์žฌ๋Š” ์‚ผ์„ฑ๊ณผ TSMC ๋“ฑ์ด ASML์˜ EUV ๋…ธ๊ด‘ ์žฅ๋น„๋ฅผ ํ•„์š”๋กœ ํ•˜๊ณ  ์žˆ์ง€๋งŒ, ์ด ๋‘˜ ๋ฟ ์•„๋‹ˆ๋ผ ์ธํ…” ๋˜ํ•œ 2021๋…„์— ๋ฏธ์„ธ ๋‚˜๋…ธ๊ณต์ •์„ ํ•„์š”๋กœ ํ•  ๊ฒƒ์ด๊ณ , DRAM ์ƒ์‚ฐ ์‹œ, SK ํ•˜์ด๋‹‰์Šค, ์‚ผ์„ฑ์ด ์žฅ๋น„ ์‚ฌ์šฉ์„ ์žฌ๊ณ ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋‹ค๋Š” ๋‚ด์šฉ์ด ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. (=์ฆ‰ ASML ํšŒ์‚ฌ ์ „๋ง์ด ์ข‹๋‹ค๋Š” ๊ฒƒ์ด๊ฒ ์ฃ .

 

 

ํ•˜์ง€๋งŒ ์•„๋ž˜ ๊ทธ๋ž˜ํ”„์—์„œ ๋ณด์‹œ๋‹ค์‹œํ”ผ ํ•œ ํ•ด์— ์ƒ์‚ฐ ๊ฐ€๋Šฅํ•œ EUV ๋…ธ๊ด‘ ์žฅ๋น„์˜ ์ˆ˜๋Š” ๊ต‰์žฅํžˆ ์ œํ•œ์ ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. (ํ•œ ๋Œ€์— 2000์–ต์ด์ง€๋งŒ ํ˜„์žฌ ์ƒํ™ฉ์ƒ ์—†์–ด์„œ ๋ชป ํŒŒ๋Š” ์žฅ๋น„์ธ ๊ฒƒ์ด์ฃ .) ์‹ค์ œ๋กœ ์ž‘๋…„(2019๋…„)์— ์ƒ์‚ฐ๋Ÿ‰์˜ ์ ˆ๋ฐ˜์„ ๊ฒฝ์Ÿ์—…์ฒด์ด์ž ๊ธ€๋กœ๋ฒŒ 1์œ„์ธ TSMC๊ฐ€ ์‚ฌ๊ฐ”๋‹ค๊ณ  ํ•˜๋„ค์š”. (ํ˜„์žฌ TSMC์˜ 7 ๋‚˜๋…ธ ์ดํ•˜ ์บํŒŒ๋Š” ์›” 140K๋กœ ์‚ผ์„ฑ์˜ 30K๋ฅผ ํฌ๊ฒŒ ์ƒํšŒํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.) 

 

์•ž์„œ ๋ง์”€๋“œ๋ ธ๋“ฏ์ด 7๋‚˜๋…ธ ๊ณต์ •๋ณด๋‹ค ๋” ๋ฏธ์„ธํ•˜๊ณ  ๊ณ ์„ฑ๋Šฅ์ธ 5๋‚˜๋…ธ, 3๋‚˜๋…ธ ๋ฐ˜๋„์ฒด๋ฅผ ์ƒ์‚ฐํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•ด์„œ๋Š” ํ•„์ˆ˜์ ์ธ ์žฅ๋น„์ด๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ์‚ผ์„ฑ์ „์ž๋Š” ASML๊ณผ ํ˜‘๋ ฅ์„ ํ™•๋Œ€ํ•˜๊ณ , ์ถœํ•˜๋Ÿ‰์˜ ๋Œ€๋‹ค์ˆ˜๋ฅผ ๊ตฌ๋งคํ•  ๋ชฉ์ ์œผ๋กœ ์ด์žฌ์šฉ ๋ถ€ํšŒ์žฅ์ด ์ง์ ‘ ASML ๊ฒฝ์˜์ง„๊ณผ ๋งŒ๋‚˜๊ณ  ์˜จ ๊ฒƒ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ์ด๋ฒˆ ์ถœ์žฅ์—์„œ ์ด์žฌ์šฉ ๋ถ€ํšŒ์žฅ์€ ์ƒ์‚ฐ๊ณต์žฅ๋„ ์ง์ ‘ ๋ฐฉ๋ฌธํ•ด๋ณด๊ณ , 7๋‚˜๋…ธ ์ดํ•˜์˜ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์ƒ์‚ฐ์— ํ•„์ˆ˜์ ์ธ ๋…ธ๊ด‘์žฅ๋น„ ๊ณต๊ธ‰๊ณ„ํš์„ ASML ๊ฒฝ์˜์ง„๊ณผ ๋…ผ์˜ํ•˜๋ฉฐ ํ˜‘๋ ฅ ์ฒด๊ณ„๋ฅผ ํ™•๋Œ€ํ•˜๊ณ ์ž ํ–ˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

 

์‚ผ์„ฑ์ „์ž๋Š” ์ฐจ์„ธ๋Œ€ ๋ฐ˜๋„์ฒด ๊ตฌํ˜„์„ ์œ„ํ•ด EUV ๊ธฐ์ˆ  ํ™•๋ณด๋ฅผ ์œ„ํ•ด 2000๋…„๋Œ€๋ถ€ํ„ฐ ASML๊ณผ ์ดˆ๋ฏธ์„ธ ๋ฐ˜๋„์ฒด ๊ณต์ • ๊ธฐ์ˆ ๊ณผ ์žฅ๋น„ ๊ฐœ๋ฐœ์„ ์œ„ํ•ด ํ˜‘๋ ฅํ•ด ์™”์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์ง€๋‚œ 2012๋…„์—๋Š” ASML์— ๋Œ€ํ•œ ์ „๋žต์  ์ง€๋ถ„ ํˆฌ์ž๋ฅผ ํ†ตํ•ด ํŒŒํŠธ๋„ˆ์‹ญ์„ ๊ฐ•ํ™”ํ•œ ๋ฐ” ์žˆ๋Š”๋ฐ์š”.(์‚ผ์ „์ด ASML์˜ ์ง€๋ถ„ 1.5% ๋ณด์œ  ์ค‘) ํ˜„์žฌ๊นŒ์ง€ EUV์— ์ตœ์ ํ™”๋œ ์ฒจ๋‹จ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์†Œ์žฌ ๊ฐœ๋ฐœ, ์žฅ๋น„ ์ƒ์‚ฐ์„ฑ ํ–ฅ์ƒ, ์„ฑ๋Šฅ ๊ฐœ์„  ๋“ฑ ๋‹ค์–‘ํ•œ ๋ถ„์•ผ์—์„œ ํ˜‘๋ ฅ์„ ์ด์–ด ์˜ค๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

์–ผ๋งˆ ์ „, ์‚ผ์„ฑ์ „์ž์˜ 3๋ถ„๊ธฐ ๋งค์ถœ์ด 12์กฐ์— ๋‹ฌํ•˜๋Š” ๋“ฑ ์–ด๋‹ ์„œํ”„๋ผ์ด์ฆˆ๋ฅผ ๊ธฐ๋กํ–ˆ์ง€๋งŒ, ๊ธ€๋กœ๋ฒŒ ํŒŒ์šด๋“œ๋ฆฌ ์—…์ฒด์ธ ๋Œ€๋งŒ์˜ TSMC ๋˜ํ•œ 3๋ถ„๊ธฐ ์—ญ๋Œ€ ์ตœ๋Œ€ ๋งค์ถœ์•ก(14์กฐ)์„ ๊ธฐ๋กํ–ˆ๋‹ค๊ณ  ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. (๋ฌผ๋ก  ASML๋„...) ์ด๋ ‡๊ฒŒ ๊ฐ ์‚ฌ์˜ ์‹ค์ ์ด ์ข‹์ง€๋งŒ, ๊ณ„์†์ ์ธ ๊ณ ๊ฐ ํ™•๋ณด์™€ ๋†’์•„์ง€๋Š” ๊ณ ์‚ฌ์–‘ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์ƒ์‚ฐ์ด ๊ฐ€๋Šฅํ•ด์•ผ ์ง€์†์ ์ธ ๊ธ€๋กœ๋ฒŒ ๊ฒฝ์Ÿ๋ ฅ์„ ํ™•๋ณดํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๊ธฐ์— ๋‘ ํšŒ์‚ฌ ๋ชจ๋‘ ์„ค๋น„ํˆฌ์ž์— ํž˜์“ฐ๊ณ  ์žˆ๋Š” ์ƒํ™ฉ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. TSMC๋Š” ์ž‘๋…„ ๋…ธ๊ด‘์žฅ๋น„๋ฅผ 20๋Œ€ ์‚ฌ๊ฐ„ ๊ฒƒ์— ๋ชจ์ž๋ผ 2021๋…„๊นŒ์ง€ ๋˜ 50๋Œ€๋ฅผ ์ถ”๊ฐ€๊ตฌ๋งคํ•  ์˜ˆ์ •์ด๋ผ๊ณ  ํ•˜๋‹ˆ.. ์•ž์œผ๋กœ ์ด ๋‘ ๊ธฐ์—…๊ฐ„ ์น˜์—ดํ•œ ๊ฒฝ์Ÿ์ด ์˜ˆ์ƒ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

 

 

์‚ฌ์‹ค ์‚ผ์„ฑ์€ ๊ณต๊ฒฉ์ ์ธ ์„ค๋น„ํˆฌ์ž๋ฅผ ์ด๋ฏธ ์‹œ์ž‘ํ•˜๊ณ  ์žˆ์—ˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. (์‚ผ์„ฑ๋„ ์—ญ์‹œ ๊ณ„ํš์ด ์žˆ์—ˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.) 5์›” ์œ ์ง„ํˆฌ์ž์ฆ๊ถŒ ์ด์Šน์šฐ ์—ฐ๊ตฌ์›์ด ์‚ผ์„ฑ์ด ํ‰ํƒ2๊ธฐ๋ผ์ธ์ธ P2์™€ V2์— 20~30K ๊ทœ๋ชจ์˜ ํŒŒ์šด๋“œ๋ฆฌ ๋ผ์ธ ํˆฌ์ž๋ฅผ ๊ฒฐ์ •ํ•˜์˜€๊ณ (8-9์กฐ), ์ฃผ๋กœ EUV 5 ๋‚˜๋…ธ ์ดํ•˜ ๊ณต์ •์ด ์ ์šฉ๋  ์˜ˆ์ •์ด๋ฉฐ, ์–‘์‚ฐ์€ 2021 ๋…„ ํ•˜๋ฐ˜๊ธฐ ์ดํ›„์— ๊ฐ€๋Šฅํ•  ๊ฒƒ์ด๋ผ ์˜ˆ์ƒํ•œ ์ˆ˜์ˆœ์œผ๋กœ ์ผ์ด ์ง„ํ–‰๋˜๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ๋ณด์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ์˜ฌํ•ด ์—ฐ๋ง๊นŒ์ง€ ์‚ผ์„ฑ์ „์ž์˜ 12 ์ธ์น˜ ๋น„๋ฉ”๋ชจ๋ฆฌ ์บํŒŒ๋Š” 265K ๋กœ ์ถ”์ •๋˜๋ฉฐ, ์ด ์ค‘ EUV ์บ ํŒŒ๋Š” ์•ฝ 30K ์ˆ˜์ค€์œผ๋กœ ์˜ˆ์ƒ๋œ๋‹ค. ๋‚ด๋…„ ํ•˜๋ฐ˜๊ธฐ P2+V2 ๊ฐ€๋™๋˜๋ฉด EUV ์บํŒŒ๋Š” 50~60K ๊นŒ์ง€ ๋Š˜์–ด๋‚˜๊ฒŒ ๋˜๋Š” ์…ˆ์ด๋ผ๊ณ  ํ•˜๋„ค์š”.

 

๋˜ํ•œ, 2030๋…„๊นŒ์ง€ ๋ฐ˜๋„์ฒด ๋ถ„์•ผ์— ํˆฌ์žํ•  133์กฐ์› ์ค‘, ์•ฝ 45%์ธ 60์กฐ ๊ฐ€๋Ÿ‰์„ EUV ๋…ธ๊ด‘๊ธฐ ์ฒจ๋‹จ ์ƒ์‚ฐ ์ธํ”„๋ผ์— ํˆฌ์ž…ํ•  ๊ณ„ํš์ด๋ผ๊ณ  ํ•˜๋„ค์š”. ์ด๋ฅผ ํ†ตํ•ด ํŒŒ์šด๋“œ๋ฆฌ ์‹œ์žฅ์—์„œ 50% ์ด์ƒ์˜ ์ ์œ ์œจ์„ ๋ณด์ด๋Š” TSMC๋ฅผ ๋น ๋ฅด๊ฒŒ ๋”ฐ๋ผ์žก๊ธฐ ์œ„ํ•œ ์‚ผ์„ฑ์˜ ๋น…ํ”ฝ์ฒ˜๊ฐ€ ๋ณด์ž…๋‹ˆ๋‹ค.


EUV ์ˆ˜ํ˜œ์ฃผ๋Š”? 

๊ทธ๋Ÿผ EUV ์ˆ˜ํ˜œ์ฃผ/๊ด€๋ จ์ฃผ๋ฅผ ์•Œ์•„๋ณด๊ฒ ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๋Œ€ํ‘œ์ ์ธ ๊ด€๋ จ์ฃผ๋กœ๋Š” ์—์Šค์•ค์—์Šคํ…, ์—˜์˜คํ‹ฐ๋ฒ ํ , ์ฝ”๋ฏธ์ฝ”๊ฐ€ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. 

์—์Šค์•ค์—์Šคํƒ

์—์Šค์•ค์—์„ธ์Šคํƒ์€ ๋ฐ˜๋„์ฒด ๋ถ€๋ฌธ์˜ ์†Œ๋ถ€์žฅ(์†Œ์žฌ, ๋ถ€ํ’ˆ, ์žฅ๋น„)์˜ ์ฃผ์š” ํ’ˆ๋ชฉ์ธ ๋ธ”๋žญํฌ ๋งˆ์Šคํฌ ์ƒ์‚ฐ์—…์ฒด์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ๋‚˜๋…ธ ๊ณต์ •์ด ์„ธ๋ฐ€ํ•ด์ง์— ๋”ฐ๋ผ EUV ์žฅ๋น„๊ฐ€ ๋„์ž…๋˜๋ฉด์„œ EUV์šฉ ํŽ ๋ฆฌํด๊ณผ ๋ธ”๋žญํฌ๋งˆ์Šคํฌ๋ฅผ ๊ฐœ๋ฐœ ์ค‘์ด๋ฉฐ, ์•ž์œผ๋กœ๋„ ์ˆ˜์š” ์ฆ๊ฐ€ ๋ฐ ์†Œ๋ถ€์žฅ ๊ตญ์‚ฐํ™” ์›€์ง์ž„์— ๋”ฐ๋ผ ์„ฑ์žฅ์ด ๊ธฐ๋Œ€๋˜๋Š” ํšŒ์‚ฌ๋ผ๊ณ  ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

 

์‚ผ์„ฑ์ „์ž๊ฐ€ ๋น„๋ฉ”๋ชจ๋ฆฌ์— ์ฃผ๋ ฅํ•˜๋Š”๋งŒํผ, ๋ฉ”๋ชจ๋ฆฌ ๊ณต์ •๋ณด๋‹ค ํฌํ† ๋งˆ์Šคํฌ ์‚ฌ์šฉ๋Ÿ‰์ด ๋งŽ์€ ๋ธ”๋žญํฌ ๋งˆ์Šคํฌ ๊ณต๊ธ‰ ์ฆ๊ฐ€๊ฐ€ ๊ธฐ๋Œ€๋œ๋‹ค๊ณ  ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. (ํŽ ๋ฆฌํด = ๋ฐ˜๋„์ฒด ๋ฐ ๋””์Šคํ”Œ๋ ˆ์ด ์ƒ์‚ฐ๊ณต์ • ์ค‘ ๋…ธ๊ด‘๊ณต์ •์—์„œ ํฌํ† ๋งˆ์Šคํฌ๋ฅผ ์ด๋ฌผ์งˆ๋กœ๋ถ€ํ„ฐ ๋ณดํ˜ธํ•˜๋Š” ์†Œ๋ชจ์„ฑ ์†Œ์žฌ / ๋ธ”๋žญํฌ ๋งˆ์Šคํฌ = EUV ๊ด‘์› ํก์ˆ˜๋ฅผ ๋ง‰๊ณ  ๋ฐ˜์‚ฌ๋ฅผ ๊ทน๋Œ€ํ™” ํ•˜๋Š” ๊ตฌ์กฐ )

 

 

 

 

์•„๋ž˜๋Š” SK ์ฆ๊ถŒ์˜ ๊น€์˜์šฐ, ๊น€ํƒœ์ง„ ์—ฐ๊ตฌ์›์ด ์˜ˆ์ƒํ•˜๋Š” ๊ธฐ์—…ํ˜„ํ™ฉ ๋ฐ ์ „๋ง์ž…๋‹ˆ๋‹ค. 

 

 


์—˜์˜คํ‹ฐ๋ฒ ํ  

EUV ๊ณต์ •์—์„œ๋Š” ๋‹ค์ˆ˜ ์˜ ๊ณ ๊ธฐ๋Šฅ์„ฑ ์ง„๊ณตํŽŒํ”„๋ฅผ ํ•„์š”๋กœ ํ•œ๋‹ค๊ณ  ํ•˜๋Š”๋ฐ์š”, ํ˜„์žฌ ASML์— ์˜๊ตญ์˜ ์—๋“œ์›Œ๋“œ์‚ฌ๊ฐ€ ๋…์ ์ ์œผ๋กœ ๊ณต๊ธ‰ํ•˜๊ณ  ์žˆ์ง€๋งŒ, EUV๋ผ์ธ์„ ์ค‘์‹ฌ์œผ๋กœ ํ•œ D๋žจ ๋ฐ V๋‚ธ๋“œ ๋“ฑ์˜ ์ƒ์‚ฐ์ด ๋Š˜์–ด๋‚œ๋‹ค๋ฉด, ์•ˆ์ •์ ์ธ ๊ณต๊ธ‰์„ ์ถ”๊ตฌํ•˜๋Š” ๊ณ ๊ฐ์‚ฌ์˜ ์ •์ฑ… ๋“ฑ์— ํž˜์ž…์–ด ๋™์‚ฌ์˜ ์ˆ˜ํ˜œ๊ฐ€ ์˜ˆ์ƒ๋œ๋‹ค๊ณ  ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. 

 

**๋ฐ˜๋„์ฒด ์ œ์กฐ๊ณผ์ •์—์„œ ๊ณต์ •๋ถ€์‚ฐ๋ฌผ์„ ์ œ๊ฑฐํ•˜๋Š”๋ฐ ํ™œ์šฉ๋˜๋Š” ๊ฑด์‹์ง„๊ณตํŽŒํ”„๋Š” ์ง„๊ณตํ™˜๊ฒฝ์„ ํ•„์š”๋กœ ํ•˜๋Š” ์ „๊ณต์ •์—์„œ ์ฃผ๋กœ ์‚ฌ์šฉ๋˜๊ณ  ์žˆ๊ณ , ํŠนํžˆ ์ดˆ๊ณ ์ง„ ๊ณต์˜์—ญ์œผ๋กœ ๋ถ„๋ฅ˜๋˜๋Š” Etching/CVD๊ณต์ •์—์„œ๋Š” ๋ฐ˜๋“œ์‹œ ํ•„์š”ํ•œ ์„ค๋น„๋ผ๊ณ  ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๊ทธ๋™์•ˆ ๋™์‚ฌ๋Š” CVD๊ณต์ •์— ์ฃผ๋กœ ๋‚ฉํ’ˆํ•ด ์™”์œผ๋‚˜ ์ตœ๊ทผ์—๋Š” ๊ฒฝ์Ÿ์‚ฌ๊ฐ€ ์ฃผ๋กœ ๊ณต๊ธ‰ํ•˜๋˜ Etching ๊ณต์ •ํ–ฅ์œผ๋กœ๋„ ๋งค์ถœ์ด ๋น ๋ฅด๊ฒŒ ์ฆ๊ฐ€ํ•˜๊ณ  ์žˆ๋‹ค๊ณ  ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. 

 

์•„๋ž˜๋Š” SK ์ฆ๊ถŒ์˜ ๊น€์˜์šฐ, ๊น€ํƒœ์ง„ ์—ฐ๊ตฌ์›์ด ์˜ˆ์ƒํ•˜๋Š” ๊ธฐ์—…ํ˜„ํ™ฉ ๋ฐ ์ „๋ง์ž…๋‹ˆ๋‹ค. 

 

 

 


์ฝ”๋ฏธ์ฝ”

๋ฐ˜๋„์ฒด ๊ณต์ •์žฅ๋น„/๋ถ€ํ’ˆ์˜ ์„ธ์ • ๋ฐ ํŠน์ˆ˜์ฝ”ํŒ… ํšŒ์‚ฌ๋กœ ๊ธ€๋กœ๋ฒŒ ๋ฐ˜๋„์ฒด ๊ธฐ์—… ๊ฒฝ์Ÿ์‹ฌํ™”์— ๋”ฐ๋ฅธ ์ˆ˜ํ˜œ ๊ฐ€๋Šฅํ•œ ๊ตญ๋‚ด ๊ธฐ์—…์ด๋ผ๊ณ  ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ํ•œ๊ตญ(์•ˆ์„ฑ), ๋ฏธ๊ตญ, ์ค‘๊ตญ, ๋Œ€๋งŒ, ์‹ฑ๊ฐ€ํด ๋“ฑ ๊ธ€๋กœ๋ฒŒ ๋ฒ•์ธ์„ ๋ณด์œ ํ•œ ํšŒ์‚ฌ์ด๊ธฐ๋„ ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ํ˜„์žฌ ๋ฏธ๊ตญ Hillsboro ์ง€์—ญ ์‹ ๊ทœ ๊ณต์žฅ(CAPA ์•ฝ 400์–ต์› ๊ทœ๋ชจ) ์„ค๋ฆฝ, ๋‚ด๋…„ ์ƒ๋ฐ˜๊ธฐ ์™„๊ณต ํ›„ ํ•˜๋ฐ˜๊ธฐ๋ถ€ํ„ฐ ์‹ค์  ๊ธฐ์—ฌ ๊ฐ€๋Šฅํ•  ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์ „๋ง๋œ๋‹ค๊ณ  ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

 

๋˜ํ•œ, 18๋…„๋„ ๋””์Šคํ”Œ๋ ˆ์ด ํ•˜๋ถ€์ „๊ทน์šฉ Repair Shop ์„ค๋ฆฝ ์ดํ›„ ์ฃผ์š” ๊ณ ๊ฐ์‚ฌ ํ’ˆ์งˆ๊ฒ€์ฆ ํ†ต๊ณผ์™€ ํ•จ๊ป˜ ๋งค์ถœ ์ฆ๊ฐ€ํ•˜์˜€๊ณ , ์ค‘๊ตญ ๋กœ์ปฌ ๊ธฐ์—…๋“ค ๋ถ€ํ’ˆ ์ฝ”ํŒ… ์ˆ˜์š”๋„ ์ฆ๊ฐ€ํ•จ์— ๋”ฐ๋ผ ์ ์ง„์  ๋งค์ถœ ์„ฑ์žฅ ๊ธฐ๋Œ€๋˜๋Š” ํšŒ์‚ฌ๋ผ๊ณ  ํ•˜๋„ค์š”.

 

์•„๋ž˜๋Š” SK ์ฆ๊ถŒ์˜ ๊น€์˜์šฐ, ๊น€ํƒœ์ง„ ์—ฐ๊ตฌ์›์ด ์˜ˆ์ƒํ•˜๋Š” ๊ธฐ์—…ํ˜„ํ™ฉ ๋ฐ ์ „๋ง์ž…๋‹ˆ๋‹ค. 

 

 

 

 

 

์ด์ƒ์œผ๋กœ ์‚ผ์„ฑ์ „์ž์˜ EUV ๋…ธ๊ด‘ ์žฅ๋น„ ์„ค๋น„ ํˆฌ์ž ํ™•๋Œ€์— ๋”ฐ๋ฅธ EUV ๊ด€๋ จ์ฃผ(์ˆ˜ํ˜œ์ฃผ)์— ๋Œ€ํ•œ ํฌ์ŠคํŒ…์„ ๋งˆ๋ฌด๋ฆฌํ•˜๊ฒ ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. (์‚ผ์ „ ์ฃผ๊ฐ€๋Š” ๊ฐ‘์ž๊ธฐ ๋˜ ํ•˜๋ฝ ์ค‘์ด์ง€๋งŒ..8๋งŒ ์ „์ž๋ฅผ ๊ฟˆ๊พธ๋ฉฐ.. ํฌ์ŠคํŒ… ๋งˆ์นฉ๋‹ˆ๋‹ค.)

 

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2020/11/27 - [๐Ÿ“ˆ ๊ฒฝ์ œ ์ด์•ผ๊ธฐ/์ฃผ์‹] - ์›์ตํ™€๋”ฉ์Šค - 2021๋…„๋„ ์ „๋ง (ft. ์‚ผ์„ฑ์ „์ž EUV ๊ด€๋ จ์ฃผ)

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